Basis translatietafel voor een synchrotron

De basis translatietafel maakt deel uit van een “beamline” tool die wordt gebruikt om de interne 2D- en 3D-microstructuur van complexe, dynamische structuren te onderzoeken. Dit gebeurt allemaal quasi-simultaan op micrometerschaal binnen hetzelfde monster. Bovenop de basis translatietafel worden diverse andere actuatoren en apparatuur gemonteerd met een totale massa van ongeveer 3000 kg. Het gevolg van het stapelen van de actuatoren en apparatuur is dat het “Point of Interest” (PoI) relatief hoog boven de granieten slede ligt. Om de metingen in het PoI met een hoge, herhaalbare nauwkeurigheid te kunnen uitvoeren, gelden er strenge eisen aan de herhaalbaarheid van de roll-, pitch- en yawbeweging van de basis translatietafel. De specificatie was 15µrad en bij de eindmetingen bleken de werkelijke waarden bijna een factor 5 daaronder te liggen. Het resultaat is veel kleinere Abbe-fouten in het PoI en dus meer potentieel voor nauwkeurige metingen. Dit zijn indrukwekkende resultaten, vooral omdat de translatietafel een verplaatsing mogelijk maakt van ruim 1600mm. De tafel is uitgerust met een dubbele encoder, namelijk een incrementele en een absolute. Bovendien heeft de tafel een pneumatische rem voor in-positie stabiliteit en een afdekking om te voorkomen dat onderdelen naar binnen vallen en schade veroorzaken.

Ultra nauwkeurig drie assen motion platform

De titel drie assen motion platform doet geen recht aan de complexiteit van het concept. In feite is het ook onjuist omdat er zeven bestuurde assen zijn. Qua functionaliteit gaat het echter om drie assen. Er zijn twee verticaal bewegende assen en op één van de twee beweegt ook nog een horizontale as. De bereikte absolute positioneringsnauwkeurigheid voor de drie assen bedraagt 0,3 µm over een slaglengte van ongeveer 200 mm en 100 mm voor respectievelijk de verticale assen en de horizontale as. De nauwkeurigheid werd echter niet direct bij de encoders gemeten, maar in Point of Interest (PoI) en dat is ruim 120mm buiten het platform. Door deze afstand beginnen Abbe-fouten als gevolg van parasitaire hoekfouten een belangrijke rol te spelen. Dit wordt opgelost door de twee Z-assen met elk drie motoren aan te drijven en de positie te meten met drie lineaire encoders. Dit biedt de mogelijkheid om de oriëntatie van de slede te corrigeren voor de bovengenoemde parasitaire hoekfouten en zo de positioneringsnauwkeurigheid in PoI te optimaliseren. De correctie is optimaal omdat alle assen zijn voorzien van luchtlagers, wat resulteert in herhalende parasitaire hoekfouten en waardoor correcties zeer effectief zijn. Het platform is ontworpen in nauwe samenwerking met de klant, die parallel aan de ontwikkeling bij Q-Sys zijn eigen deel van de machine kon engineeren. Uiteindelijk kwamen de twee delen samen en konden ze zonder problemen worden gecombineerd tot een werkende machine.

Motion platform met vier vrijdheidsgraden

De platforms op de foto zijn een duidelijk voorbeeld van hergebruik van ontwerpconcepten. Q-Sys staat bekend om het leveren van maatwerkplatformen waarbij de eisen en wensen van de klant altijd voorop staan. Wij shoppen altijd eerst in onze grote voorraad beproefde concepten. Dit resulteert in kortere doorlooptijden en lagere kosten voor de klant. Zo is het concept op de foto al voor een aantal verschillende toepassingen geleverd in verschillende afmetingen, opgebouwd uit verschillende materialen en met verschillende prestaties. De kleinste variant past bijvoorbeeld op een bureau, terwijl de massa van de grootste meer dan 5000kg bedraagt. Aarzel nooit om ons uw wensen voor te leggen of ons uit te dagen. Wij bieden graag oplossingen voor de meest veeleisende toepassingen.

Synchrotrons houden van keuzemogelijkheden

In de loop der jaren heeft Q-Sys een groot aantal platformen geleverd aan synchrotrons over de hele wereld. Deze platformen lijken op het eerste gezicht identiek, maar niets is minder waar. Het concept is identiek, maar de platformen kunnen op nogal wat punten van elkaar verschillen. Dit kunnen details zijn zoals het aantal inserts in het graniet en de plaats van de inserts, maar de verschillen kunnen ook groter zijn. Denk aan de granieten zuilen die wel of niet verwijderd kunnen worden of de hoogte van de brug. Maar ook of het platform twee assen (X en Y) of meer heeft. In het laatste geval kunnen de assen gecoördineerd bewegen. Daarnaast is het mogelijk om de bovenas (X) uit te rusten met een zogenaamde lifter waarmee componenten handmatig (zowel grof als fijn) in verticale richting kunnen worden uitgelijnd. Op de foto is te zien hoe het systeem is uitgerust met aardbevingsvoorzieningen. Het doel is ervoor te zorgen dat het platform niet zelfstandig verplaatst tijdens een aardbeving en dat de losse granieten kolommen op hun plaats blijven. Deze voorziening is in nauwe samenwerking met de klant ontwikkeld en is wederom een voorbeeld van wat er mogelijk is.

Motion platform voor 3D printer

Het platform vormt de basis van een 3D-printer. Het levert een positioneringsnauwkeurigheid van 5micron over het printgebied van 1000 mm x 200 mm. Het platform is onder meer uitgerust met een vacuümchuck om de geprinte producten "vast te houden". De vacuümpomp en alle gerelateerde componenten (bijv. sensoren om te controleren of er vacuüm aanwezig is of niet) worden geleverd op een speciale plaat die in een schakelkast kan worden geïntegreerd. De printkophouder biedt plaats aan meerdere printkoppen, afzonderlijk van elkaar kunnen worden uitgelijnd om een optimale printkwaliteit te bereiken. Naast het printgebied is een station waar een UV-lamp de geprinte producten volledig uithardt. De twee compartimenten zijn van elkaar gescheiden door middel van een pneumatisch bedient “lichtgordijn”. Op deze manier wordt voorkomen dat UV-licht per ongeluk de printkoppen bereikt en deze verstopt raken.

Directe vervanging van XY platform

Deze XY-tafel is een directe vervanging van een bestaand motion platform in een laserbewerkingsmachine. Voor de klant betekende dit dat er geen mechanische veranderingen aan de machine nodig waren. Het nieuwe platform heeft (bijna) dezelfde afmetingen en werd op dezelfde plek in de machine gemonteerd als het oude platform. Om de ultieme nauwkeurigheid uit de machine te halen, werd errormapping uitgevoerd met behulp van een 2D-encoder. Het grote voordeel hiervan is dat de fouten in twee richtingen tegelijk worden gemeten en niet zoals gebruikelijk met een tijdsverschil.

Nauwkeurige direct drive rotatietafel

Deze robuuste draaitafel met een diameter van 160 mm biedt uitstekende dynamische prestaties met minimale geometrische fouten. De combinatie van een direct drive servomotor, integrale optische encoder en ultra precieze lagers produceert een platform met een zeer hoge stijfheid en nul speling. Met een 50 mm doorgaand gat is de tafel geschikt voor een breed scala aan toepassingen en is verkrijgbaar met verschillende configuraties van limits en hardstops.

LTP voor een leverancier van KB spiegels

KB-spiegels (Kirkpatrick-Baez) worden gebruikt in synchrotron-onderzoeksfaciliteiten waarbij de eisen in de richting dwingen van steeds kleinere, gefocusseerde spots. De KB-spiegelparen worden gebruikt om röntgenstralen met spotgroottes tot minder dan 1µm scherp te stellen. Bij het produceren van deze spiegels is het belangrijk om de extreem hoge specificaties in zowel vormfouten als oppervlakteruwheid te bereiken. Tegenwoordig moeten de vormfouten kleiner zijn dan 0.1µrad.

De LTP is in staat om vormfouten kleiner dan 0.1µrad te meten over de gehele lengte van de spiegel. Het betreft hier een versie met één as, van het beproefde concept voor LTP’s/NOM’s, zoals het door verschillende synchrotrons over de hele wereld wordt gebruikt. In dit geval wordt het gebruikt door een leverancier om de spiegels te valideren voorafgaand aan levering.

Het platform is leverbaar met één as maar kan ook met extra assen geleverd worden. Dit kan bijvoorbeeld een X2-as zijn voor horizontale metingen, maar ook een RTT-platform voor het automatisch uitlijnen en roteren van de spiegels (SUT) zonder tussenkomst van een operator die mogelijk een thermische verstoring van de omgeving zou kunnen veroorzaken.

Positioneerplatform voor het uitlijnen van transfocators

Een transfocator is een instelbaar instrument voor het focusseren van röntgenstralen met behulp van een samenstel van lenzen. In synchrotrons kunnen deze instrumenten worden gebruikt in zowel witte als monochromatische bundels om ze te focusseren, pre-focusseren of te collimeren. De transfocator moet in vier assen worden uitgelijnd ten opzichte van de straal. De technici van Q-Sys hebben voor dit specifieke doel een bewegingsplatform ontworpen en gebouwd. Het ontwerp is gebaseerd op twee aandrijfwiggen en een driehoekig tegenoverliggend driehoekig deel. Elke zijde van het systeem heeft een combinatie van twee aandrijfwiggen en een driehoek. Alle elementen kunnen bewegen door gebruik te maken van recirculerende lagers die voor een hoge stijfheid zorgen. De wiggen worden aangedreven door middel van kogelomloopspindels in combinatie met stappenmotoren en een Harmonic Drive overbrenging. Alle aandrijfwiggen zijn uitgerust met lineaire encoders om een zeer hoge positioneringsnauwkeurigheid en een zeer kleine Minimum Incremental Motion (MIM) te bieden. Het platform moet een last van 400kg dragen en daarnaast een externe kracht van 200N die met een offset werkt. De afmetingen van de basis van het platform zijn kleiner dan 800mm x 600mm.

Upgrade aan grote trommeldraaibank biedt gebruiker nieuwe mogelijkheden

Zoals zo vaak in zijn geschiedenis heeft Q-Sys een upgrade uitgevoerd aan een bestaande machine. In dit geval betrof het een zogenaamde grote trommeldraaibank. Na volledige demontage overleefde bijna alleen de luchtgelagerde trommel. Met dit als basis is een ontwerp uitgewerkt en is de machine uiteindelijk weer opgebouwd. In grote lijnen ging het om compleet nieuwe aandrijvingen op alle assen, een veiligheidsomkasting met afzuiging en temperatuurregeling en een state of the art CNC-besturing. Voor de upgrade van de aandrijvingen betekende dit bijvoorbeeld dat de lengteas werd voorzien van een ijzerloze lineaire motor. De verandering aan de aandrijving van de trommel was ingrijpender. Zoals gebruikelijk, vooral in het verleden, was de trommel oorspronkelijk uitgerust met een snelheidsgeregelde aandrijving. Na de upgrade maakt het gebruik van een ring-encoder het mogelijk om de trommel in positieregeling te laten werken. Door de relatief grote diameter van de ring is een zeer hoge resolutie bereikt. Ook is hier gebruik gemaakt van een op maat gemaakte torquemotor om het direct drive concept toe te passen. Het is een uitvoering van een ijzerloze motor die speciaal voor deze machine is ontwikkeld. De cogging-vrije motor, gecombineerd met de luchtgelagerde trommel, leidt tot de kleinst mogelijke snelheidsverstoringen. Daarnaast heeft de trommel nu een rem die het beste te vergelijken is met een schijfrem van een auto. Hierdoor kan de trommel in een bepaalde positie worden vergrendeld. Alle aanpassingen aan de machine samen bieden de klant mogelijkheden die met de oude configuratie ondenkbaar waren.

Oplossingen bieden aan synchrotrons om hun uitdagingen te overwinnen

De engineers van Q-Sys zijn al meer dan 20 jaar betrokken bij projecten van synchrotrons. In veel gevallen hebben de geleverde oplossingen de verwachtingen ver overtroffen. De afgelopen jaren hebben we wereldwijd een groot aantal bewegingsplatforms geleverd die in de metrologische laboratoria worden gebruikt als LTP- (Long Trace Profiler) of NOM-banken (Nanometer Optical Measurement). Er zijn varianten van dit platform met twee (XY), maar ook met vier of vijf assen (XY plus tip-tilt of XY plus rotary-tip-tilt). Naast de offline apparatuur hebben wij ook diverse oplossingen voor de “hutches” ontworpen en geleverd. Dit omvat detectorpositioneringssystemen, platformen voor het positioneren van transfocators en positioneringssystemen voor “in-vacuum phase plates”. Bovenstaande is slechts een greep uit de op klantspecificatie gemaakte oplossingen die wij hebben ontworpen en geleverd en hiermee heeft Q-Sys een serieus trackrecord opgebouwd voor synchrotron (test) toepassingen.

Verticale luchtlagerslede met lange slag

De luchtlageras is in principe ontworpen voor verticale toepassingen en maakt een beweging tot 2000mm mogelijk. Aandrijving vindt plaats door middel van een kogelomloopspindel, waarbij de positieterugkoppeling wordt gedaan met behulp van een zeer nauwkeurige optische lineaire encoder. Deze componenten bevinden zich in een gleuf in de granieten kolom, die vervolgens wordt afgedekt door een band. Dit voorkomt enerzijds vervuiling van bijvoorbeeld de encoder en anderzijds de mogelijkheid om de roterende spindel tijdens beweging aan te raken of bekneld te raken. De roll- en pitchfouten van de slede tijdens beweging zijn kleiner dan 3boogseconden.

Hoognauwkeurige, luchtgelagerde bewegingen voor metingen aan optische componenten

De geïntegreerde rotatie en verticale beweging vormen slechts twee assen in een platform met vier assen. Een luchtgelagerde verticale as maakt het mogelijk om een direct aangedreven draaitafel in hoogte te verstellen. Dit is nodig om een te meten object in de juiste positie ten opzichte van het meetinstrument te brengen. De rotatietafel is eveneens voorzien van luchtlagering en wordt aangedreven door een torquemotor. De motor heeft geen cogging en een koppelrimpel van minder dan 0,04%. Deze motor, gecombineerd met de luchtlagering en een contactloze optische positieterugkoppeling, zorgt voor een extreem kleine snelheidsrimpel. De excentriciteit van de rotatie is <0.1µm en de wobble <1µrad. De hartlijn van de rotatie ligt binnen 2µrad parallel aan de verticale beweging. De verticale as is ook uitgerust met luchtlagers en wordt aangedreven door een lineaire motor met epoxykern. Door het gekozen motorconcept worden alleen krachten in de aandrijfrichting uitgeoefend en dit resulteert in een “pitch” van <8µrad en een “yaw” van <3µrad. De totale massa is gebalanceerd zodat de motor een minimum aan warmte genereert.

Lineare positioneertafel met tot 2000mm slaglengte

Onze reeks QL-R reeks van positioneertafel is letterlijk verlengd. Deze veelzijdige potioneertafel is nu verkrijgbaar met slaglengtes tot 2000mm. De tafels worden aangedreven met behulp van een lineaire motor en bieden verschillende combinaties van motorgrootte en encoderresolutie voor een breed scala aan toepassingen. Intern kabelmanagement maakt dit een nette en compacte tafel, geschikt voor gebruik in enkel- of meerassige systemen. Zie de downloadsectie van onze website voor meer informatie over de tafels.

Hoog nauwkeurige Rotatie-Tilt Assen voor Laserbewerkingen

De twee assen gebruiken luchtlagers om de hoogst mogelijke nauwkeurigheid te realiseren. De nauwkeurig uitgelijnde assen kunnen bijvoorbeeld worden gecombineerd met lineaire assen en bieden klanten in die configuratie zeer nauwkeurige bewerkingsmogelijkheden voor complexe productgeometrieën. De rotatieas heeft een torque motor en een encoder met hoge resolutie. Deze combinatie maakt een breed scala aan snelheden mogelijk zonder aan nauwkeurigheid in te boeten. De kantelas maakt een rotatie over ±100° mogelijk. De combinatie van zeer nauwkeurige encoders en luchtlagers zorgt voor een zeer hoge nauwkeurigheid en herhaalnauwkeurigheid. De encoders zijn absoluut, waardoor verlies van positie bij een eventuele stroomstoring wordt voorkomen.

Platform voor testen met hoge snelheid

Deze drie-assige testopstelling werkt met snelheden tot 5m/sec over het centrale gebied van de slag en realiseert tegelijkertijd een rechtheid en vlakheid binnen 5µm. Deze combinatie van specificaties maakt het ideaal voor het testen van printkoppen. De achterkant van de granieten brug biedt plaats aan een as over de volledige breedte waarmee in line optische inspectie van de print output mogelijk is. Door gebruik te maken van een granieten basis is het podium uitzonderlijk stabiel. De horitontale assen worden aangedreven met behulp van lineaire motoren.

Groot motionplatform voor FPD-laserbewerking

Het platform is ontwikkeld in nauwe samenwerking met de klant. Het is gebouwd op een zogenaamde polymeercomposietbasis. Naast de drie bewegingsassen omvatte de leveringsomvang diverse andere componenten die nodig zijn voor het proces. Voorbeelden zijn faciliteiten voor het lossen en laden van de FPD, maar ook het uitlijnen en inspecteren van de FDP, camera's, sensoren en afzuigapparatuur. Speciale aandacht was vereist voor de grijpers waarmee de FPD wordt vastgeklemd. Dit was een delicaat proces en schade aan de FPD moet te allen tijde worden voorkomen. De slaglengtes van de assen zijn ongeveer 1500 mm x 1200 mm met rechtheid en vlakheid van de bewegingen van ongeveer 10 µm.

Ontwikkelingsplatform op maat voor 3D-printen

Dit ontwikkelplatform is wederom een goed voorbeeld van onze op maat gemaakte service voor niet-standaard motion systemen. Het platform is bedoeld voor gebruik in een 3D-printtoepassing. Het heeft een positioneringsnauwkeurigheid van 5micrometer over het printgebied van 1000mm x 100mm en wordt geleverd met een UV-blokkerende veiligheidsbehuizing. Het platform is onder meer uitgerust met een vacuümchuck om de te printen producten “vast te houden”. Naast het printgebied is een station waar een UV-lamp de geprinte producten volledig uithardt. Binnen in de kast zijn alle onderdelen zoveel mogelijk zwart om reflecties van licht tegen te gaan en om te voorkomen dat de printkoppen verstopt raken met uitgeharde inkt.

Motion platform met 4 vrijheidsgraden (DoF)

Dit 4-assige platform biedt de bewegingen die noodzakelijk zijn voor nauwkeurige uitlijning zoals vereist in bijvoorbeeld synchrotrons. Het betreft horizontale en verticale bewegingen plus rotatie om deze twee assen. De maximaal mogelijke lineaire bewegingen zijn ±40mm en ±1° voor de rotaties. Het platform heeft een ongebruikelijk ontwerp met drie wiggen om de vereiste bewegingen mogelijk te maken in een zeer beperkte ruimte. Het doorgaande gat is 500 mm x 300 mm en biedt toegang van zowel de boven- als de onderzijde.

Gantry met bewegend portaal voor bijvoorbeeld reel to reel toepassingen

De basis van het systeem is een granieten plaat, rustend op een gelast stalen frame. Het systeem heeft een slag van 1800mm x 150mm en haalt een snelheid tot 1m/s. Het portaal wordt aan beide uiteinden aangedreven door lineaire motoren, elk met een eigen lineaire encoder. Dit betekent dat het portaal wordt aangedreven als een paar onafhankelijke assen, aan elkaar gekoppeld in de besturing middels de gantry mode. Flexibele bevestigingen van de balk aan de sledes, zorgen ervoor dat er geen spanningen worden opgebouwd. Het systeem is bijvoorbeeld zeer geschikt om te worden gebruikt in reel-to-reel-toepassingen bij laserbewerkingen van dunne folie.

Precisie luchtlager rotatietafel voor laserbewerkingen

Deze rotatietafel, aangedreven met een direct drive motor, maakt gebruik van een granieten basis voor optimale stabiliteit en prestaties. De tafel heeft een doorgaand gat van 320mm voor toegankelijkheid van zowel de boven- als de onderkant. De draagcacapiciteit is maar liefst 300kg. Met een nauwkeurigheid van 10μrad, 5μrad kantelfout en minder dan 0.2μm axiale en radiale runout bevindt hij zich in de eredivisie van rotatietafels.

Platform voor het uitlijnen van “beamline” röntgen optieken

Het platform is bedoeld om röntgenoptieken uit te lijnen en heeft daarvoor drie gemotoriseerde assen en één handmatig bediende as. De te halen slaglengtes zijn ±100mm (200mm) in Y, ±30mm (60mm) in Z en ±5deg (10deg) in θ. Daarnaast kan het centrale deel van het graniet door middel van luchtlagers tot 400mm naar buiten worden geschoven. Dit deel kan een last dragen van maximaal 150kg en biedt daarmee een flexibele oplossing voor toepassingen waarbij de opstelling bijna dagelijks kan veranderen.

Positioneertafel voor optische metingen ten behoeve van kostengunstige LTP toepassingen

Deze positioneertafel met mechanische lagering vormt als het ware het instapmodel als alternatief voor ons luchtgelagerde metrologie platform voor toepassingen die minder veeleisend zijn voor wat betreft nauwkeurigheden. De tafel is bedoeld om tegen een granieten ondergrond te monteren. Het getoonde exemplaar heeft 1200mm slaglengte, maar andere slaglengtes zijn op aanvraag beschikbaar. Afhankelijk van de slaglengte wordt een nauwkeurigheid van 2micrometer na foutencorrectie gehaald, 10boogseconden voor rollen, stampen en gieren en 6micrometer voor vlakheid en rechtheid.

Test platform combineert hoge snelheid met nauwkeurigheid

Met dit platform kunnen printkoppen worden getest en ontwikkeld, waarbij substraten met snelheden tot 5m/sec bewogen kunnen worden. De rechtheid en vlakheid van de beweging ligt binnen 5micrometer. Het substraat wordt middels vacuum op een chuck met A3 grootte vastgehouden. Aan de achterzijde van de granieten brug bevindt zich een slede die over de volledige breedte van de chuck kan bewegen en waarmee door montage van optische inspecieapparatuur een analyse kan worden uitgevoerd van de printresultaten.

Rotatie-tip-tilt tafel maakt het plaatje van optische metrologie compleet

Deze RTT tafel is inmiddels geïnstalleerd in diverse optische laboratoria over de hele wereld. Het is het nieuwste van het nieuwste op het gebied van meetapparatuur ten behoeve van het meten van röntgen spiegels. De RTT kan over 5 graden tippen en tilten en 305 graden roteren. Met deze vrijheidsgraden biedt het de mogelijkheid om het te testen object (SUT) optimaal uit te lijnen, metingen te verrichten onder gedefinieerde hoeken, meetwaarden verzamelen van spiegels met sterkere krommingen en deze aan elkaar koppelen (stitching) en het omdraaien (flippen) om de Z-as zonder de meetomgeving te verstoren als gevolg van het betreden van de meetruimte door personen.

Turn key machine voor het meten van optische componenten.

SHARPeR is een Eurostars project dat heeft geresulteerd in een zeer nauwkeurig, geautomatiseerd metrologie platform voor het nameten van optische componenten van extreem hoge kwaliteit. Deze worden bijvoorbeeld toegepast in synchrotron beamlines, EUV lithographie systemen en telescopen. Op de machine kunnen bijvoorbeeld röntgen spiegels met een lengte van meer dan 1 meter kunnen worden gemeten met een hoeknauwkeurigheid van beter dan 50nrad rms.

De machine bestaat uit drie hoofdonderdelen:

• Een uiterst stabiel en herhaalnauwkeurig multi-assen motion platform inclusief rotatie- en tip-tilt assen

• Een hoognauwkeurige "wavefront" sensor met een absolute nauwkeurigheid van λ/1000 rms

• Een geavanceerd "stitching" algoritme voor zeer nauwkeurige eindresultaten

De basisversie van het platform bestaat uit 2 lineaire assen die een longitudinale beweging mogelijk maken om te scannen en een transversale om het gebied waarover het optische component wordt gekarakteriseerd te vergroten. Als optie kunnen rotatie en tip-tilt worden toegevoegd. Op deze wijze kan het optische component worden omgedraaid zonder de meting te verstoren door handmatige interventie. De nieuwe, ultra preciese Shack-Hartmann wavefront sensor is geïntegreerd in een optische kop waarmee een 2D hoek/hoogte kaart kan worden gemaakt. Het oppervlak dat gemeten wordt kan zowel horizontaal als verticaal geörienteerd zijn om de werkelijke bedrijfsomstandigheden te simuleren.

Het complete metrologie platform is onder andere ontworpen voor fabrikanten van optische componenten met extreme nauwkeurigheden die noodzakelijk zijn voor bijvoorbeeld het focussen van röntgenstralen in synchrotron toepassingen. Het platform is verkrijgbaar met of zonder Shack-Hartmann sensor in het geval de gebruiker de wens heeft om eigen meetapparatuur te integreren. De turnkey machine is verkrijgbaar via onze partner in het project, Imagine Optic

Dankzij de Eurostars subsidie is er een samenwerking tussen twee toonaangevende bedrijven ontstaan waarbij de combinatie van expertises tot een complete, turnkey machine heeft geleid. Imagine Optic (Frankrijk) heeft een uiterst nauwkeurige Shack-Hartmann wavefront sensor (HASO UHP) ontwikkeld met een uitzonderlijke meetnauwkeurigheid van λ/1000 rms. Q-sys heeft een zeer stabiel motion platform ontworpen met uitstekende specifications, hetgeen het ideaal maakt voor optische metrologie toepassingen.

        

Platform op klantspecificatie voor een R&D lasertoepassing

Dit testplatform is bedoeld voor R&D processen op het gebied van laser direct imaging en ontwikkeld op basis van klantspecificaties. Voor de twee onafhankelijke Z-assen was een herhaalnauwkeurigheid van 1µm vereist. Deze twee Z-assen bevinden zich boven de horizontale as die een slaglengte heeft van 300mm. Deze, met een lineaire motor aangedreven as beweegt met een snelheid van 500mm/s en een volgfout kleiner dan 1.5µm. Het platform bevindt zich in een veiligheidsomkasting met speciale folie zodat licht met bepaalde golflengtes wordt gefilterd.

Controller upgrade.

Terwijl de budgetten voor investeringen streng bewaakt blijven, zijn er steeds meer gebruikers die vinden dat hun machine een nieuw leven kan worden ingeblazen door een revisie van de hardware in combinatie met het vervangen van de controller door een up-to-date alternatief. Waar motion componenten relatief weinig zijn veranderd in de afgelopen jaren, zijn de besturingen voortdurend in ontwikkeling. Het laatste systeem dat een dergelijke aanpak van Q-Sys heeft ondergaan is een station voor lasersnijden waar de positioneringstafels, overige hardware en de laser nog vele jaren van probleemloos gebruik voor zich hebben. Het vervangen van de oude besturing heeft de betrouwbaarheid en gebruiksmogelijkheden van het systeem significant laten toenemen.

Field support en upgrades voor motion- en positioneersystemen

Na de sluiting van Anorad Europe in Best, eind 2009, is er voor de eigenaren van Anorad apparatuur, beperkte ondersteuning in Europa. Q-Sys heeft voor deze gebruikers een oplossing en biedt ondersteuning en service voor deze systemen.

Q-Sys is in 2007 opgestart door vier ex Anorad-managers om de traditie voort te zetten van het ontwerpen en bouwen van nauwkeurige motion platforms. Aangezien de Q-Sys engineers bekend zijn met de door Anorad in Europa geleverde systemen, kunnen zij daarvoor ondersteuning en service bieden en waar nodig reparaties uitvoeren. Dit kan varieren van hulp bij storingen tot het uitvoeren van geplande inspectie- en onderhoudsbeurten. Daarnaast biedt Q-Sys de mogelijkheid tot upgrades waarbij bepaalde hard- en software wordt vervangen om de prestaties van de systemen nog verder te verbeteren of de levensduur te verlengen en zo grote investeringen uit te stellen.

De service kan worden uitgevoerd naar aanleiding van behoefte (storing) of op basis van een zogenaamd servicecontract waarin de bezoeken vooraf worden gepland en reactietijden en beheer van reserveonderdelen worden geregeld.